AEG多晶硅系统电源控制器THYROBOX PI

AEG多晶硅系统电源控制器THYROBOX PI特点：

-提高沉积温度

-增加硅棒直径

-防止棒芯熔化

-减少硅棒机械应力

-避免硅棒裂纹和系统关闭

-减少热点

将反应器内部众所周知的技术问题降低到蕞少是实现速度更快、问题更少的沉积过程的基础。THYROBOX PI模块可用于全部装有THYROBOX VSC或THYROBOX M的沉积反应器。

用于24对硅棒CVD反应器的THYROBOX M。其特点包括用于反应器中全部硅棒的中压点火以及用于CVD程序的供电。

AEG多晶硅系统电源控制器THYROBOX PI-供电亮点：

基于多年经验和已经拥有得到验证的现场记录的THYROBOX元件，持续的设计创新为客户提供了艺术级的完整解决方案，从而在多晶硅产业中具有竞争力。

THYROBOX供电设计的蕞新里程碑是THYROBOX PI。

THYROBOX PI代表着过程提高，并为供电系统带来了大量益处，包括：

-将沉积过程中的问题降低到蕞少

-增加硅棒直径

THYROBOX，MD反应器：用于12、18、24和27对反应棒的反应器中CVD沉积过程进行中压点火、预热和过程加热的模块系统

THYROBOX MV-I，D反应器：作为现有THYROBOX VSC供电系统附加装置，对于硅棒对进行中压点火的供电系统

THYROBOX VSC-C，H反应器：用于具有多级VSC线路H反应器的能源供给系统

AEG多晶硅系统电源控制器型号：THYROBOX PI。